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電感耦合等離子體質(zhì)譜ICP-MS，是20世紀80年代發(fā)展起來的新的分析測試技術(shù)。它的接口技術(shù)將ICP-MS的高溫（7000K）電離特性與四極桿質(zhì)譜計的靈敏快速掃描的優(yōu)點相結(jié)合而形成一種新型的元素和同位素分析技術(shù)，可分析幾乎地球上所有元素。ICP-MS技術(shù)的分析能力不僅可以取代傳統(tǒng)的無機分析技術(shù)如電感耦合等離子體光譜技術(shù)、石墨爐原子吸收進行定性、半定量、定量分析及同位素比值的準(zhǔn)確測量等。還可以與其他技術(shù)如HPLC、HPCE、GC聯(lián)用進行元素的形態(tài)、分布特性等的分析。隨著這項技術(shù)的迅速發(fā)展，現(xiàn)已被廣泛地應(yīng)用于環(huán)境、半導(dǎo)體、醫(yī)學(xué)、生物、冶金、石油、核材料分析等領(lǐng)域。做為科技進步的主要推動力量，大學(xué)和科研機構(gòu)，在ICP MS技術(shù)的應(yīng)用開發(fā)和普及推廣上，扮演者不可取代的角色。