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電感耦合等離子體質(zhì)譜分析法是將電感耦等離子體(ICP)技術(shù)和質(zhì)譜(MS)技術(shù)結(jié)合起來， 利用等離子體作為離子源，由接口將等離子體中被電離了的試樣離子引入質(zhì)譜儀，用質(zhì)譜儀對離子進(jìn)行質(zhì)量分析(按m／Z比值將不同的離子分開)并檢測記錄，根據(jù)所得質(zhì)譜圖進(jìn)行定性定量分析。具有以下幾個優(yōu)點(diǎn)：

(1)靈敏度高：ICP-MS儀器的靈敏度一般高出lCP-AES一到兩個數(shù)量級，從而對多數(shù)元素能達(dá)到更低的檢出限：

(2)動態(tài)線性范圍寬：

(3)可多元素同時分析；

(4)分析速度快，單個樣品一般在幾秒鐘內(nèi)完成：

(5)分析元素范圍廣，能分析元素周期表中除碳、氫、氧外的絕大多數(shù)元素。

正因?yàn)檫@些優(yōu)點(diǎn)，使ICP-MS分析技術(shù)廣泛應(yīng) 用于半導(dǎo)體工業(yè)用高純材料的痕量雜質(zhì)分析中。主要進(jìn)行的高純材料分析

1. IC硅片表面雜質(zhì)分析

2. 光伏多晶硅、單晶硅雜質(zhì)分析

3. 三氯氫硅、四氯化硅中金屬雜質(zhì)金屬元素．

4. 超凈純試劑分析：氫氟酸、硝酸、硫酸、鹽酸、氨水、雙氧水等超純無機(jī)試劑，和異丙醇(IPA)、丙酮、四甲基氫氧化銨(TMAH)，N-甲基吡咯烷酮(NMP)、丙二醇甲基醚乙酯(PGMEA)等超純有機(jī)試劑

5. 超純水分析

6. 高純氣體分析